让大家失望了！光刻机工厂？NO!

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原标题：让大家失望了！光刻机工厂？NO!

关键字：报告,光刻,光源,电子束,机工

文章来源：人工智能学家

内容字数：1805字

内容摘要：来源：EETOP近日来自众多行业外自媒体的消息称，清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化，实现了光刻机国产化，并配图称该项目已在雄安新区落地。对此，中国电子工程设计院有限公司（下称中国电子院）官微9月18日发声，称该项目并非网传的国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目（HEPS）！HEPS坐落于北京怀柔雁栖湖畔，是国家“十三五”重大科技基础设施。它是我国第一台高能量同步辐射光源，也是世界…

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